11月4日,西北地域首条8英寸硅光中试线正式通线。
该平台由陕西光电子先导院设置装备摆设,这次通线不仅弥补了区域硅光芯片中试范畴空缺,更成为陕西“追光规划”实行以来的标记性结果,将作为陕西打造千亿级光子财产集群的焦点支点,撬动本地光子财产成长从蓝图迈向实践。
据相识,这次8英寸硅光平台通线,将与西安科学园的进步前辈阿秒激光举措措施、光子传感园的财产化载体形成联动,为“追光规划”培育千亿级集群提供从基础研究、中实验证到量产落地的全链条支撑。
光电子先导院的8英寸硅光平台总投资7.5亿元,引进了比利时IMEC“130nm硅光芯片工艺包”,并引入光刻、刻蚀等60余台(套)要害焦点装备,于130nm有源集成硅光主工艺平台基础上,可以或许开发90nm以上进步前辈工艺。
“8 英寸硅光平台的通线,完全补全了陕西于硅光芯片中试范畴的短板”。陕西光电子先导院总司理杨军红暗示,作为陕西“追光规划”的焦点支撑平台,光电子先导院已经累计投入约15亿元构建“6英寸化合物芯片+8英寸硅光芯片”双中试平台。
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